华海清科是高端半导体设备制造商,当前主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。目前已开发出Universal系列CMP设备、Versatile系列减薄设备、HSC系列清洗设备、HSDS/HCDS系列供液系统、膜厚测量设备,以及晶圆再生、关键耗材与维保服务等技术服务;且广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺。
其中,华海清科所生产的CMP设备,已经实现28nm制程所有工艺全覆盖,目前已批量供货,广泛用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线。
至于2023年的表现,据官方资料显示,2023年,化学机械抛光(CMP)装备出机量、12英寸再生晶圆出货量持续增长;12英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300量产机台成功填补国内芯片装备行业在超精密减薄技术领域的空白;12英寸单片清洗机HSC-F3400机台出机,满足大硅片市场在终端清洗方面的特殊需求。