此次联合团队研发的红光 Micro LED，最亮眼的突破在于攻克了 “微型化效率衰减” 的行业痛点，而这一成果的核心支撑，是创新性的 1nm 厚外延氮化铝（AlN）钝化层技术。研究团队采用氩等离子体辅助原子层沉积（ALD）工艺，在 Micro LED 侧壁精准构筑出单晶 AlN 薄膜 —— 这种超薄钝化层如同为芯片披上了一层 “保护衣”，既能紧密贴合 1.5 微米的微小芯片尺寸，又能有效阻断侧壁的非辐射复合路径，从根源上减少能量损耗。
为验证该技术的优越性，团队开展了对比实验：相较于传统采用二氧化铪（HfO₂）或三氧化二铝（Al₂O₃）钝化层的红光 Micro LED，基于单晶 AlN 钝化层的器件光致发光强度提升了 2.5 倍，发光衰减时间延长 4 倍。这组数据意味着，在相同驱动条件下，新器件不仅发光更明亮，还能保持更稳定的发光状态，彻底解决了 “尺寸缩小即效率骤降” 的恶性循环，为超小尺寸红光 Micro LED 的实用化扫清了关键障碍。
除了效率与尺寸的突破，联合团队还同步实现了 Micro LED 的 “柔性化” 设计，进一步拓展了其应用场景。研发过程中，团队将制备好的红光 Micro LED 阵列通过倒装键合技术，精准贴合到聚酰亚胺（PI）基板上 —— 聚酰亚胺材料本身具备优异的柔韧性与耐高温性，是柔性电子器件的理想载体。随后，团队通过精准控制界面附着力，实现了硅衬底的 “无剥离移除”，最终获得厚度不足 20μm 的柔性器件。
实际测试结果显示，这款柔性红光 Micro LED 在反复弯曲状态下，仍能保持稳定发光，亮度均匀性无明显波动。这一特性打破了传统刚性 Micro LED 对设备形态的限制，使其不仅能适配 AR 眼镜的曲面镜显模块，未来甚至有望应用于电子隐形眼镜等超微型穿戴设备，为元宇宙场景下的 “近眼显示” 提供了更灵活的技术选择。
对于这项成果的行业价值，研究团队明确表示，其突破了红光 Micro LED 在 “效率 - 尺寸 - 柔性” 三者间的制约关系：1.5μm 的极小发光尺寸与 6.5% 的 EQE，已能满足超高密度（>5000ppi）显示的需求 —— 这一分辨率远超当前主流 AR 设备的显示水平，可让虚拟图像更接近人眼分辨极限，大幅提升沉浸式体验；而柔性特性则为设备的轻薄化、异形化设计提供了可能，助力元宇宙硬件从 “笨重” 向 “便携” 升级。
展望未来，联合团队计划通过两大方向进一步优化技术：一方面，持续改进铟镓氮（InGaN）外延层的生长工艺，提升材料结晶质量，从而进一步提高器件的效率均匀性；另一方面，推动柔性 Micro LED 与驱动电路的集成，解决微小尺寸下的信号传输与控制难题。这些优化将为全彩柔性 Micro LED 显示的商业化铺路 —— 当前全彩 Micro LED 的发展仍受限于红光器件的性能短板，此次红光技术的突破，有望加速红、绿、蓝三基色器件的性能协同，推动全彩 Micro LED 在元宇宙、柔性显示、车载显示等领域的规模化应用。
从行业视角来看，三星与首尔国立大学的这项研究，不仅为红光 Micro LED 技术树立了新标杆，更向市场传递出明确信号：Micro LED 正从 “技术探索” 向 “场景落地” 加速迈进。随着核心参数的持续突破与柔性等特性的加持，未来元宇宙设备、可穿戴电子等领域，或将迎来基于 Micro LED 技术的产品革新，彻底改变现有显示格局。
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